HEM-500HA高低溫電磁型全自動霍爾效應測試系統

產品分類：磁性測試

關鍵詞：體載流子濃度、表面載流子濃度、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity)、霍爾系數(Hall Coefficient)、磁致電阻 HEM-500HA高低溫電磁型全自動霍爾效應測試系統本儀器系統由電磁鐵、電磁鐵電源、高精度恒流源、高精度電壓表、霍爾效應樣品支架、標準樣品、高低溫杜瓦，控溫儀，系統軟件組成。為本儀器系統專門研制的CH-320A效應儀將恒流源，六位半微伏表及霍爾

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關鍵詞：體載流子濃度、表面載流子濃度、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity)、霍爾系數(Hall Coefficient)、磁致電阻

HEM-500HA高低溫電磁型全自動霍爾效應測試系統本儀器系統由電磁鐵、電磁鐵電源、高精度恒流源、高精度電壓表、霍爾效應樣品支架、標準樣品、高低溫杜瓦，控溫儀，系統軟件組成。為本儀器系統專門研制的CH-320A效應儀將恒流源，六位半微伏表及霍爾測量復雜的切換繼電器——開關組裝成一體，大大減化了實驗的連線與操作?？蓡为氉龊懔髟?、微伏表使用。實驗結果由軟件自動計算得到，可同時得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration)、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration)、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity)、霍爾系數(Hall Coefficient)、磁致電阻(Magnetoresistance)等等。用于測量半導體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數等重要參數，而這些參數是了解半導體材料電學特性必須預先掌控的，因此霍爾效應測試系統是理解和研究半導體器件和半導體材料電學特性工具。

可測試材料：

物理學參數	載流子濃度（Carrier Density）	10³cm^-3～ 10²³cm^-3
	遷移率（Mobility）	0.1cm²/voltsec ～10⁸cm²/voltsec
	電阻率范圍（Resistivity）	10^-7Ohmcm～10¹⁰ Ohmcm
	霍爾電壓（Hall voltage）	0.1uV ～ 10V
	霍爾系數	10^-⁵ ～ 10²⁷cm³/C
可測試材料類型	半導體材料	SiGe, SiC, InAs, InGaAs, InP,AlGaAs, HgCdTe和鐵氧體材料等
	低阻抗材料	石墨烯、金屬、透明氧化物、弱磁性半導體材料、TMR材料等
	高阻抗材料	半絕緣的GaAs, GaN, CdTe等
	材料導電粒子	材料的P型與N型測試
磁場環境	磁鐵類型	可變極性電磁鐵
	磁場大小	2000mT（極頭間距為：10mm） 1500mT（極頭間距為：20mm） 1000mT（極頭間距為：30mm） 800mT（極頭間距為：40mm） 600mT（極頭間距為：50mm）
	霍爾效應測試磁場	高低溫霍爾效應中極頭間距為40mm，此時磁場最大為800mT
	均勻區	1%
	最小分辨率	0.1Gs
	可選磁環境	可根據客戶需求定制相關磁性大小的電磁鐵，
電學參數	電流源	1.00nA-1000.00mA
	電流源分辨率	1pA
	測量電壓	0～±10V
	電壓測量分辨率	0.0001mV
溫度環境	80K ～ 773K（高低溫溫度調節0.1K）
溫度環境	控溫精度	小于0.05%F.S±1個字
其他配件	遮光性	外部安裝遮光部件，使得測試材料更加穩定
	樣品尺寸	*10mm10mm（標準） 16mm16mm（最大）*
	箱式機柜	6006001000mm
	測試樣片	提供中國科學院半導體所霍爾效應標準測試樣片及數據：1套（硅、鍺、砷化鎵、銻化銦）
	制作歐姆接觸	電烙鐵、銦片、焊錫、漆包線等

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